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压电陶瓷微位移器是利用逆压电效应制作的新型的固态执行器件,在精密光学、微型机械、微电子技术、计算机应用等高新技术领域获得广泛应用[lj。这些应用领域的发展要求压电陶瓷器件向体积小、驱动电压低、位移量大、能集成化的方向发展。


压电陶瓷微位移器是利用逆压电效应制作的新型的固态执行器件,在精密光学、微型机械、微电子技术、计算机应用等高新技术领域获得广泛应用[lj。这些应用领域的发展要求压电陶瓷器件向体积小、驱动电压低、位移量大、能集成化的方向发展。BaTiO 是早发现的压电陶瓷 ,早在1949年日本就研究利用它的压电性设计鱼群探测器,其缺点是谐频温度特f生差。但是用 Ph和 Ca等元素部分地取代 BaTiO,中的 Ba,可以改进 BaTiO,陶瓷的温度特性,压电陶瓷片厂,故在广泛使用 PZT压电陶瓷的今天,仍有部分压电换能器采用改性的BaTiO。压电陶瓷。


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