压电陶瓷微位移器是利用逆压电效应制作的新型的固态执行器件,批量定制压电陶瓷,在精密光学、微型机械、微电子技术、计算机应用等高新技术领域获得广泛应用[lj。这些应用领域的发展要求压电陶瓷器件向体积小、驱动电压低、位移量大、能集成化的方向发展。


压电陶瓷微位移器是利用逆压电效应制作的新型的固态执行器件,在精密光学、微型机械、微电子技术、计算机应用等高新技术领域获得广泛应用[lj。这些应用领域的发展要求压电陶瓷器件向体积小、驱动电压低、位移量大、能集成化的方向发展。










压电材料是在压力作用下发生极化而在两端表面间出现电位差的电介质。在异极晶体材料的特定方向上施加应力,晶体一些对应表面上分别出现正、负束缚电荷,其电荷密度与施加应力的大小成比例,当应力反向时,电荷改变符号,这种由机械应力使电介质极化,并形成晶体表面荷电的效应称为压电效应。


压电材料是在压力作用下发生极化而在两端表面间出现电位差的电介质。在异极晶体材料的特定方向上施加应力,晶体一些对应表面上分别出现正、负束缚电荷,其电荷密度与施加应力的大小成比例,当应力反向时,电荷改变符号,这种由机械应力使电介质极化,并形成晶体表面荷电的效应称为压电效应。锆钛酸铅压电陶瓷简称 PZT陶瓷,是压电陶瓷材料中用得广的一种。PZT的机电耦合系数高,温度稳定性好,并且有较高的居里温度(一300℃)。用 Sr、ca、Mg等元素部分地取代 PZT中的 Pb,或者是通过添加Nb、La、Sb、Cr、Mn等元素来改性,压电陶瓷工厂,可以制成许多不同用途的PZT型压电陶瓷,四平压电陶瓷,如 PZT一4、PZT一5、PZT-6、PZT一7和 PZT一8等。PZT陶瓷的出现,是压电陶瓷发展新的里程碑,其大大提高了压电陶瓷的性能并扩大了其应用范围。除了 PZT之外,二元系压电陶瓷还有(Pb,压电陶瓷价格低,Ba)NbO3、(Na,K)NbO3和(Na,Cd)NbO3等 ,都是 比较适用的压电材料。


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